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金融界 2024 年 9 月 12 日消息,天眼查知识产权信息显示,上海世禹精密设备股份有限公司取得一项名为“植球机用全密封供锡球装置“,授权公告号 CN1
金融界 2024 年 9 月 12 日消息,天眼查知识产权信息显示,上海世禹精密设备股份有限公司取得一项名为“植球机用全密封供锡球装置“,授权公告号 CN115985790B ,申请日期为 2023 年 1 月。
专利摘要显示,本发明提供了一种涉及半导体制造设备领域的植球机用全密封供锡球装置,包括供球盒和铺球盒,供球盒通过供球导管连接铺球盒,供球盒上设有供气接头,供气接头通气后将供球盒内的锡球通过气吹向供球导管,供球导管将锡球传入铺球盒上的供球入口接头,锡球从供球入口接头进入铺球盒内腔中,铺球盒内腔中设有匀球斜坡,匀球斜坡将锡球均匀掉落至铺球盒各处。本发明采用全密封结构,解决锡球被吹飞的问题,提高锡球利用率,减少锡球浪费,提高机台的安全性;拆换快捷方便,能解决更换不同的锡球供球导管中容易残留球与其他的球混合的问题,排除这方面对植球良率的不利影响;匀球斜坡能够让锡球进入铺球盒后,均匀的掉落到铺球盒的腔体各处。kaiyun
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